全球電子工業氣體需求將激增
半導體產品仍是消費電子特種氣體的主力軍,但光伏技術的發展加大了電子工業氣體的需求量。只要石油價格繼續保持在高位,光伏技術就將得到大量應用,全球電子工業氣體需求也將隨之激增。
電子工業氣體主要用于薄膜沉積,如化學氣相沉積(CVD)或物理氣相沉積(PVD法),這些技術主要用來制造半導體或光伏電池。三氟化氮(NF3)、硅烷(SiH4)和氨氣是用于半導體、液晶顯示器(LCD)和光伏技術領域的三大主要電子工業氣體。
薄膜太陽能電池在不同領域、不同自然條件下的普及應用,使其生產過程中必不可少的電子工業氣體消費量以較快速度增長。美國工業氣體供應商空氣化工產品公司近日預測,全球太陽能電池產能將以年均30%以上的速度增長。